增芯项目启动投产，一期产能达2万片/月 芯片有了“增城造

　　从一片空地到一座现代化先进芯片制造工厂，增芯项目实现了由动工向通线的跃升，于6月28日启动投产。

　　这是国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目。该项目位于增城经济技术开发区核心区，一期投资70亿元，将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线。预计今年底实现产品交付客户。

　　仅用时18个月，增芯项目创下了广东大体量项目建设的“芯”速度。增城第一家芯片制造企业，具备了从原料加工到产品交付全过程的生产能力。

　　芯片实现“增城造”，将为国内智能传感器及相关产业提供高质量发展支撑，更将助力“广东强芯”工程。

　　●南方日报记者 李鹏程

　　通讯员 何秋玲 谢锡权

　　一颗“增城芯”的诞生

　　一片空白的晶圆，由工作人员缓缓放入增芯机台设备中。经过复杂的工序，“001”序列号被刻在了晶圆片上。首个进入制造产线的晶圆，由此获得了“出生证明”。

　　在增芯项目主厂房，包括光刻机、干法刻蚀机等在内的晶圆加工设备以及各种检测和测试设备有序摆放，整个操作车间一尘不染，工作人员身穿洁净服进行操作。

　　芯片制造类似乐高盖房子：先用晶圆作为地基，再利用光刻机绘制“建房”的结构图，然后用刻蚀机沿线把该“挖”的“挖掉”，最后使用注入机“浇注”。如此反复地筑平台、划线、挖槽、注入，从而逐层将芯片垒起。

　　“增芯可以在增城生产第一批芯片产品了！”现场，增芯总经理张亮难掩激动。他介绍，芯片完整的制造流程涉及气相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蚀、离子注入等步骤，分别对应不同设备。

　　当天举行的投产启动仪式，意味着项目已建立起制造系统，整个生产流程能够连贯地运作。后续，增芯将通过产品良率提升和产能爬坡，加快产品交付工作。

　　随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技术的快速发展，先进智能传感器芯片大有可为。

　　面向粤港澳大湾区这一全球传感器最大的应用市场，增芯专注于MEMS（微机电系统）、先进模拟／混合信号等特色芯片制造技术领域。“增芯采取差异化竞争策略，专注于高附加值的MEMS传感器及特色细分产品市场段。”张亮表示。

　　项目一期产能预计于2025年底达到2万片/月；一期工艺技术采用MEMS力学传感器和130-55纳米成熟制程。

　　“我们主攻的12英寸55nm-90nm工艺产品，具有性能功耗平衡、高集成度、成本效益和成熟度稳定等技术特点，在多个应用领域具备广泛适应性，市场份额稳定。”张亮介绍，这些特性使得“增芯出品”有望在半导体市场取得独特的地位。

　　未来，增芯的产品将主要应用于新能源智能汽车、超高清视频显示、高端装备、5G、人工智能、工业互联网等领域，极大满足大湾区在相关优势产业领域对半导体和集成电路的庞大需求，提升产业链供应链稳定性和安全性。

　　东部中心“芯芯”向荣

　　作为广州东部中心“现代活力核”的重要承载区，增城加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系，并在“芯”产业不断突破，智能传感器全产业链雏形已形成。

　　在广州集成电路“一核两极多点”中，增城扮演着重要角色，主要聚焦智能传感器和芯片制造领域。在链主企业增芯的牵引之下，增城已引进落户越海、广东微技术工研院、中微广州、智达星空等一批能级高、带动力强的骨干项目。

　　为推动全产业链条完整集聚，增城同步打造广东省首个获批的智能传感器特色产业园，形成包括增城经济技术开发区核心区组团、电子材料组团、科教城组团、公铁联运组团4个组团，以制造为核心的“一核一圈四组团”空间布局。

　　当前，增城的集成电路和半导体产业链，已覆盖生产制造端、装备制造端、创新平台端、封装测试端、材料供应端、芯片设计端、终端应用端。预计到2035年，增城将形成千亿级智能传感器产业集群。

　　“从2022年12月项目动工，到2023年9月主体结构封顶，一共用了9个月零6天，再到2023年12月完成首台设备搬入，2024年6月进入投产阶段，最大感受就是快。”张亮表示，这既是增芯速度，也是“增城速度”。

　　以增芯项目为缩影，增城正全力以赴优化营商环境——

　　提供优质、便捷、高效的“全生命周期服务”，大力支持增芯等重点项目建设，做好全链条要素保障，保障项目顺利投产；增城海关加快智慧海关建设，将口岸查验指令调整为由目的地海关到厂执行，配合企业生产流程第一时间到厂检验，做到随到随检，一次开箱、一次验放；积极制定出台和推动各项扶持政策落实，加快集成电路及智能传感器产业发展，为培育壮大现代化产业体系提供坚实支撑。

　　如今，放眼广州东部中心，一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目相继布局落子。

　　芯芯相连，“芯芯”向荣。全产业链条加速集聚，将为广东打造国家集成电路产业发展“第三极”提供有力支撑。