集成电路院:“芯”聚大湾区，赋能粤港澳｜广州市新型研发机构巡礼(十三)
广东是我国电子信息产业大省，集成电路产业发展迅速，拥有庞大的终端应用市场，芯片消耗量占比超过全球一半。2019年，广东省大湾区集成电路与系统应用研究院（以下简称集成电路院）在广州黄埔孕育而生，定位以广州为中心，发挥香港、澳门开放窗口优势，汇聚创新资源，建设国家级集成电路创新中心，与京津冀、长三角错位发展，实现特色引领。
集成电路院外景
一、建设高水平人才队伍，积蓄发展新动能
解决集成电路关键核心技术基础是人才，关键也是人才。集成电路院由国家02专项总师叶甜春研究员领军，引进欧洲科学院院士、中国工程院院士和国家高端人才在内的科研领军人才以及来自台积电、三星半导体、意法半导体、博世、联合电子等世界顶尖企业的资深研发人员组建成立的。目前集成电路院现有在职职工179人，包括院士3人，国际级高端人才2人，其中科研人员156人，博士学历22人，硕士学历74人，是一支年轻而富有活力、专业且具有激情的团队。
二、强化卡脖子技术攻关，体现科技担当
围绕集成电路制造领域关键核心“卡脖子”技术难题，集成电路院认真梳理提出FDSOI关键技术、异质集成光电子技术、汽车核心芯片与系统技术、计算光刻技术等重点科研方向全力组织攻关，已完成FDSOI工艺、光电异质集成芯片、新能源汽车芯片及系统等技术攻关。
集成电路院重点研发方向
●面向世界科技前沿，面向国家重大战略需求进行技术攻关
（1）FDSOI先导技术方面：承接广东省、广州市FDSOI重大研发项目，在FDSOI工艺和新器件方面取得突破，构建了较为完善的专利保护体系，打造自主技术壁垒推动广东省大湾区集成电路FDSOI产业创新生态体系的快速发展；（2）光电核心技术方面：掌握了8英寸GOI晶圆上短波红外焦平面阵列的批量制造技术，成功研制了GOI短波红外成像系统及多款相机原型产品，该技术为中国提供了国际顶尖的核心光电创新技术储备，打破国外厂商在光电异质芯片关键技术领域及相关产品封锁，解决国内公司缺乏CMOS工艺兼容的GOI短波红外领域“缺芯”困境，促进了GOI短波红外成像技术在军事、航天、医疗、安防等众多领域的批量应用，为实现广州以光电集成特色工艺为驱动的重大原始科研创新和高质量区域经济发展打下坚实基础，展现了广州为国产自主化集成电路发展注入了强大的动力。
多款晶圆产品
长波红外光电探测原型器件
短波红外相机成像效果图
●面向国民经济主战场，围绕卡脖子领域进行技术攻关
（1）汽车电子方面：成功研发国产第一颗引擎控制芯片。孵化中科赛飞公司，获中国汽车芯片联盟颁发 “最具潜力小微企业”奖，获得国内多家汽车零部件企业订单，与本地整车企业建立了紧密合作关系，获得韦尔股份、国科创投等投资人4510万投资，投后估值2.251亿元。成功研发国内首台ASIL-D的SiC电机驱动控制器。孵化中科意创公司，获中国产学研合作创新成果二等奖、国家高新技术企业、广东省专精特新企业，获得东风、一汽等客户订单近亿元，获得中南创投、创新工场等投资人投资超1.1亿元，投后估值5.2亿元。（2）计算光刻技术方面：建立面向产业的一站式计算光刻服务平台，成功在本土晶圆厂应用，有效提升了光刻机使用效率，减少了晶圆制造返工几率，降低了晶圆制造成本；开展计算光刻EDA关键技术研究，建立基于化学放大胶的EUV光刻胶随机模型，成功研制国产对准套刻补偿软件和后段良率分析软件。
产品介绍
围绕集成电路零部件领域的“卡脖子”问题，聚焦集成电路零部件核心技术攻关和成果转化，集成电路院成立了“广东省大湾区集成电路零部件研究院”（以下简称零部件院）。零部件院立足广东、面向全国、辐射全球，采用政府引导、市场化运作，积极承担集成电路零部件国产化突破的重大使命，打造广东省集成电路产业高质量发展的强力引擎，构筑国家级集成电路自主创新的硬核支撑。以集成电路制造工艺和设备所需的关键核心零部件为突破口，致力“补短板、锻长板”，布局“1+2+1”链式研发生态体系，即：1个技术研发中心，重点聚焦国内基本空白或基础薄弱的关键核心零部件开展前沿技术、基础性技术、关键共性技术的攻关研发；2大平台，建立零部件研发制造平台和模拟工况/工艺平台，提供专业、系统、完善的测试试验等服务和技术改进指导，促进产业提质增效快速发展；1个成果转化基地，促进一批重大科研成果顺利转化落地，孵化、培育一批零部件硬科技企业。
零部件院研发布局
三、加快科技成果产业化，实现良性循环
集成电路院建立了专业的科技成果转化团队，整合政产学研资用服等资源，以创新链、产业链、金融链“三链融合”的发展思路，形成科技成果转移转化体系，积极推进科技项目转化为产业项目。截至目前，集成电路院一期科研项目均实现成果转化，成立产业化科技企业11家，获得市场订单达2.5亿元，获得15家上市公司及27支市场化基金股权投资超16亿元，持有股权价值近4亿元。
此外，在科技成果转移转化方面，集成电路院建立了一套高效、合规科技成果转移转化体系，以“三链融合”的发展思路，专业化、系统化推进技术攻关和成果产业化，3年时间，集成电路院90%以上科技成果实现转化，成立产业化公司，并获得客户和投资人的广泛认可。
研究院孵化企业情况（部分）
成果转化体系及孵化情况
在广州“二次创业”的浪潮中，集成电路院勇立潮头，以科技创新为驱动，为城市的发展注入强劲动力，以坚定的信念和不懈的努力，不断攀登科技高峰，为广东省集成电路产业注入强劲动能，并将为中国乃至全球的科技进步贡献智慧与力量，向着成为世界顶级集成电路研发机构的目标坚定前行，为实现中国式现代化和建成社会主义现代化强国贡献科技力量。
集成电路院简介
2019年，在广东省、广州市大力支持下，由广州高新技术产业开发区管委会举办成立集成电路院，并注册成立为省级事业单位。
目前，集成电路院已获批成为广东省高水平创新研究院、省级新型研发机构、省重点实验室、省工程技术研究中心等各类省级科技创新平台，并当选为中国集成电路零部件创新联盟副理事长单位、中国产学研合作促进会常务理事单位、广东省集成电路行业协会副会长单位和广州市半导体协会副会长单位。
集成电路院下设了多个专门从事科学研究和技术开发的研发中心，包括FDSOI（全耗尽型绝缘体上硅）研发中心、FDSOI核心芯片与特色IP中心、汽车电子芯片事业部、计算光刻研发中心、光电集成电路研发中心、汽车电子系统事业部、集成电路真空系统研发中心、高性能真空执行器研发中心、磁悬浮洁净泵研发中心、超洁净流控零部件研发中心、半导体光源研发中心、高纯供液系统研发中心。
已开展FDSOI关键工艺、器件技术、材料技术等先导性技术研发，为广东省乃至粤港澳大湾区高端芯片制造提供服务与支撑；在面向国民经济主战场方面，集成电路院同时开展新能源汽车等领域的高端核心芯片、微系统模块和系统级应用的技术研发，并形成系列产品；在支撑产业高质量方面，集成电路院大力推进科技成果转化，发挥自身技术优势孵化多家硬科技企业，有效支撑形成具有粤港澳大湾区特色的集成电路创新与产业集群。
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
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